烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
烧结炉原理
负压脱脂是一边流量计往炉内充气体,一边滑阀泵抽,在升温中利用气流来把粘结剂从产品中脱除。真空内烧是不充气体,滑阀泵一直抽,炉体升温,在真空中烧结。分压烧结时充入气体维持一定的压力,炉体升温,在分压中烧结。强制冷却是快速充入气体,风机打开,利用气体在炉内循环,通过冷却水把热量带走。
为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行,烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。
因此,烧结炉在结构上应满足以下要求:
(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。
(2)具有气密性,即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。
(3)炉内的各段温度可控,烧结气氛可调。
(4)具有快速冷却装置,可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。